扩散泵的结构及工作原理

扩散泵的结构及工作原理
油扩散泵的主要部件有泵体、冷却装置、喷嘴、蒸气流导管和加热器等。
扩按泵油锅中的泵油在真空中加热到沸腾温度发生大量的动平衡仪油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于泵进气口附近被抽气体的分压力高于蒸气流中该气体的分压力，所以被抽气体分子就不断的扩散到蒸气流中。油蒸气撞击被抽气体分子，使被抽气体分子沿蒸气流束的方向高速运动，气体分子碰撞泵壁又反射回来再受到蒸气流的碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷振动分析仪出的真气流进行多级压缩，最后由前级真空泵抽走。而油蒸气在冷却的泵壁上呗冷凝后又返回到油锅中重新被加热，如此循环工作。

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