涡轮分子泵的使用与维护

涡轮分子泵的使用与维护
其倾斜不超过5°；
1泵应水平安置。>
2注意泵的转子旋转防线要正确；
3运转时先接通冷却水，停泵后及时关闭冷却水；
4经常检查泵润滑测振仪油的油量和油质，定期补油和换油；
5粗抽泵预抽到一定预真空度后才干启动分子泵；
6运转过程中，不允许流露大气，不允许异物落入泵内；
7为防止频繁地开机动平衡仪、关机对分子泵轴承寿命的影响，等待状态分子泵应低速运转；
8需要对泵体进行烘烤时，其温度不超过100℃
9分子泵停机后，当转速不低于工作转速的1/2之前应向分子泵中放气。

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