氦质谱检漏仪的选择

氦质谱检漏仪的选择
首先要考虑到灵敏度必需充分满足要求，
选择氦质谱检漏仪时。但也不是越高越好。超声波检漏仪便携式检漏仪适于检小件，灵敏度也较高，移动方便。吸枪法也较常用；由于本机真空系统很小，抽气能力有限，所以检大容器时就不得不靠较大辅助真空系统抽气，由于气体分流、灵敏度将大大降低。检大容器时，一般选逆扩散型检漏仪，因被检件接在分子泵钱级与机械泵连接管道上，要求真空度不高，而顺检型检漏仪被检件接在质谱室上，要求真空度高，否则仪器不能工作，所以抽气时间要长。如果在流水线上测振仪可选用专用检漏仪或作简单工装使用。若平时被检件什么样的都可能有，最好选用基本型氦质谱检漏仪，以降低成本。为了满足无油或少油清洁真空的检漏要求，可选用分子泵顺检型检漏仪或外加挡油措施，也可以使用全无油装置。

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