SDT超声波检漏仪告诉你高真空泵的取代

超声波检漏仪目前质谱检漏多数采用以低压高速蒸气流作为工作介质（油）的气体运量传输泵---油扩散泵。它是氦质谱检漏仪获得高真空的主要设备，其主要特点是抽气能力大，抽速范围宽，对所抽气体（包括惰性气体）无选择，结构简单，没有机械运动部分，操作简单，便于维护，寿命长，因扩散泵油的冷却方式不同，可分两种型式，超声波检漏仪即风冷与水冷，在氦质谱检仪中多数使用“风冷式油扩散泵”。油扩散泵使用时氦必须配签好字真空泵。

油扩散泵的工作过程是当油锅中的泵油子啊真空中被加热到沸腾温度（约200℃）时，产生大量地油蒸汽，经导管由各级喷嘴定向高速喷出。由于进气口的附近（和一级喷嘴上方）被抽气体的分压力高于蒸汽流中的被抽气体的分压力，所以，被抽气体分子就不断地扩散到蒸汽流中，这时被抽气气体和油蒸气产生碰撞，使被抽气体接近蒸汽流动速度被带回泵壁上被冷凝后又返回到油锅中被重新加热，如此循环工作。由于工作原理使扩散泵工作必须预热20~45min，停止时冷却20~45min，它在检漏工作中带来不少麻烦。超声波检漏仪目前用涡轮分子泵来代替一般氦质谱检漏仪中的扩散泵，其优点是：

（1）在质谱室中无碳氢化和物的污染

（2）将仪器的启动与停止时间减至最小

（3）由于涡轮分子泵不变的氦压缩比，可得到很稳定的漏率指示。

（4）可以在任意位置安装，这样可以采用节省空间的安装方式.

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